三氯氫硅生產(chǎn)過(guò)程中，原料硅粉中往往含有鋁、鐵、鈣等雜質(zhì)，在與氯化氫氣體高溫反應(yīng)時(shí)生成氯化鋁、氯化鐵、氯化鈣等金屬氯化物，三氯氫硅廢渣的處理系統(tǒng)，包括真空耙式干燥機(jī)、冷凝器、真空泵、收集罐、酸循環(huán)泵、酸吸收罐和合成液儲(chǔ)罐，真空耙式干燥機(jī)的抽真空氣相出口依次連接水冷凝器、冷凝液出口連接收集罐，液相出口和水冷凝器的冷凝液出口連接合成液儲(chǔ)罐，真空耙式干燥機(jī)的蒸發(fā)氣相出口連接酸吸收罐，酸吸收罐液相出口再通過(guò)酸循環(huán)泵分別連接酸吸收罐液相入口和淋洗。充分回收廢渣中的有用材料，提高經(jīng)濟(jì)效益，減少環(huán)境污染。

(I)真空耙式干燥機(jī)系臥式間歇傳導(dǎo)干燥設(shè)備，借助于中心軸上的耙葉，定時(shí)間隔正反向轉(zhuǎn)動(dòng)，在耙葉的不斷攪拌下，物料與筒壁接觸時(shí)，表面不斷更新，且受到導(dǎo)熱油間接加熱，使物料內(nèi)濕份不斷汽化，同時(shí)被真空泵及時(shí)抽出。在真空度的作用下，濕份沸點(diǎn)降低，物料表面濕份蒸汽壓遠(yuǎn)大于機(jī)內(nèi)蒸發(fā)空間的濕份蒸汽壓有利于其內(nèi)部濕份蒸發(fā)，促進(jìn)了干燥，從而達(dá)到干燥的目的。

(2)由于金屬氧化物AlCl3的特殊性質(zhì)，在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下，177.8°C升華。同理在真空狀態(tài)下，隨著AlCl3飽和蒸汽壓的降低，較低溫度下就有升華的可能，這樣就很容易導(dǎo)致后序管道中AlCl3氣體的凝固，堵塞管道。為滿足工藝要求，往往在前期進(jìn)料時(shí)，加入一定量的絡(luò)合劑，該絡(luò)合劑使得物料被抽真空時(shí)，金屬氯化鋁不易被蒸出，待在真空度下氯硅烷被蒸出后，再升溫蒸出氯化鋁，減少環(huán)境污染。