三氯氫硅生產過程中，原料硅粉中往往含有鋁、鐵、鈣等雜質，在與氯化氫氣體高溫反應時生成氯化鋁、氯化鐵、氯化鈣等金屬氯化物，三氯氫硅廢渣的處理系統，包括真空耙式干燥機、冷凝器、真空泵、收集罐、酸循環泵、酸吸收罐和合成液儲罐，真空耙式干燥機的抽真空氣相出口依次連接水冷凝器、冷凝液出口連接收集罐，液相出口和水冷凝器的冷凝液出口連接合成液儲罐，真空耙式干燥機的蒸發氣相出口連接酸吸收罐，酸吸收罐液相出口再通過酸循環泵分別連接酸吸收罐液相入口和淋洗。充分回收廢渣中的有用材料，提高經濟效益，減少環境污染。

(I)真空耙式干燥機系臥式間歇傳導干燥設備，借助于中心軸上的耙葉，定時間隔正反向轉動，在耙葉的不斷攪拌下，物料與筒壁接觸時，表面不斷更新，且受到導熱油間接加熱，使物料內濕份不斷汽化，同時被真空泵及時抽出。在真空度的作用下，濕份沸點降低，物料表面濕份蒸汽壓遠大于機內蒸發空間的濕份蒸汽壓有利于其內部濕份蒸發，促進了干燥，從而達到干燥的目的。

(2)由于金屬氧化物AlCl3的特殊性質，在標準大氣壓下，177.8°C升華。同理在真空狀態下，隨著AlCl3飽和蒸汽壓的降低，較低溫度下就有升華的可能，這樣就很容易導致后序管道中AlCl3氣體的凝固，堵塞管道。為滿足工藝要求，往往在前期進料時，加入一定量的絡合劑，該絡合劑使得物料被抽真空時，金屬氯化鋁不易被蒸出，待在真空度下氯硅烷被蒸出后，再升溫蒸出氯化鋁，減少環境污染。